レーザー加工　加工例

当社の得意とする短パルスレーザー（ピコ秒レーザー、フェムト秒レーザー）での加工例を紹介致します。

高硬度、高脆性材や金属へ熱影響の非常に少ない加工が特長です。

熱影響による基材の変形が極少の為、高密度の穴あけが可能です。

 

セラミックスへの加工

窒化珪素Φ100μm貫通穴（t0.2㎜）
窒化珪素Φ100μm貫通穴（t0.2㎜）
窒化珪素Φ35μm貫通穴（t0.3㎜）
窒化珪素Φ35μm貫通穴（t0.3㎜）

アルミナΦ60μm貫通穴（t0.38㎜）
アルミナΦ60μm貫通穴（t0.38㎜）
ジルコニアΦ110μm貫通穴（t0.3㎜）
ジルコニアΦ110μm貫通穴（t0.3㎜）

Si、ガラスへの加工

SiウエーハΦ100μm貫通穴（t0.3㎜）
SiウエーハΦ100μm貫通穴（t0.3㎜）
合成石英Φ90μm貫通穴（t0.5㎜）
合成石英Φ90μm貫通穴（t0.5㎜）

金属への加工

ニッケルへのディンプル加工
ニッケルへのディンプル加工
拡大（Φ200μm、深さ30μm）
拡大（Φ200μm、深さ30μm）

ニッケルへのエンボス加工
ニッケルへのエンボス加工
拡大（Φ200μm、高さ30μm）
拡大（Φ200μm、高さ30μm）

ステンレス切断加工（櫛葉）
ステンレス切断加工（櫛葉）
ステンレス角穴抜き加工
ステンレス角穴抜き加工